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而随着半导体工艺的产生，一种新的加工模式诞生了。那就是拍照，蚀刻。
半导体工艺的基础，就是沉积，覆盖保护层，光照，冲洗这几个步骤。通过这几个步骤，反复的在物体表面，覆盖一层层的不同花纹的材料。
用这种方法，通过特殊的排列组合，就可以加工出立体的三维结构，这些结构，有一些局部构件，可以在狭小的空间，进行微量的运动，例如颤动。这些动作，又可以被测量和转化。这样，我们就得到了微米，乃至纳米级的传感器。
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mems的概念很大，传感器只是它的一种用途而已。
从狭义的角度来看，用半导体工艺加工出来的，能够产生内部运动部件的，就是mems。
这里面典型应用有喷墨打印机的喷头！
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mems传感器，还可以广义去扩散。只要加工工艺对，哪怕没有相对运动部件，也可以归为此类。例如数码摄像机的摄像头！
从某种意义上来讲，只要尺度是毫米级别的传感器，肯定都是mems的天下了。其它任何一种工艺，都无法加工出这么细小级别的产品。